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此示例說明如何計算閃耀光柵的光柵階數(shù)。該光柵在每個波長處都有許多光柵階數(shù)。為了捕獲全反射和透射的特征，監(jiān)視器中需要更多的頻率點。

模擬設置

上面的仿真文件中顯示了閃耀光柵。它由低折射率 （1.4） 基板和 40nm 厚的高折射率 （3.4） 涂層組成。光柵角度為30度。寬帶平面波源入射角度為 15 度。我們將使用光柵階數(shù)透射部分中描述的光柵階次透射分析對象來測量反射和透射。

結果

打開 grating_blaze.fsp 并運行模擬。完成后，使用腳本 grating_blaze.lsf 計算光柵在固定波長處的反射和光柵階數(shù)。請注意，我們使用了BFAST光源，因此寬帶源以相同的入射角注入所有波長。

該圖顯示了光柵的折射率曲線。

第二張圖顯示了所有衍射階數(shù)的反射作為波長從0.4um到0.7um的函數(shù)。從下圖可以看出，在每個波長處，都有許多衍射階數(shù)。為了獲得平滑的反射曲線，需要比平時更多的頻率點。在本例中，使用了 150 個頻點。然而，可以看出，需要更多的頻率點（例如 200 個）才能獲得更平滑的結果。

第三張圖顯示了給定波長為0.5um時反射與角度的函數(shù)關系。如果您想在任何其他波長下獲得此結果，只需修改腳本中的“target_wavelength”即可。